天田財団30年史「人を育て、知を拓き、未来を創る ～天田財団30年の軌跡～」

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COLUMN加工用レーザ発振器の歴史（1）科学技術、加工技術、および加工用レーザ開発の変遷▶1960（昭和35）年～1979（昭和54）年加工用としてのレーザの歴史は、1960年にメイマン（米）が世界最初の694.3nmルビー（クロムイオン Cr3+）レーザ（3準位系）のパルス発振の報告から間もなく、ダイヤモンドにレーザ光を集光し、数百μm直径の穴あけを行ったことに始まる。加工用に用いられる主なレーザ発振器と技術の変遷を次に示す。❖1960年代 ・Ndガラスレーザ発振（1961）　3準位系より発振閾値の低い4準位レーザ・半導体レーザ（LD：Laser Diode）発振（1962）・CO2ガスレーザ発振（1964）・Nd:YAGレーザ発振（1964）・ファイバーレーザ増幅器（1964）・モード同期技術（Hargrove et al., Harris et al.）（1964） →レーザの短パルス化❖1970 〜1980年代・レーザ下準位がすぐに解離するエキシマレーザ（Excited Dimer：Excimer）が高出力紫外波長 パルスガスレーザとして発振（例：KrF、XeCl、XeF（1975）、ArF（1976）など）・SELFOC 分布屈折率型ファイバーレーザ 年代項目1960年～1965年～科学技術開発海外ルビーレーザ（T.H.Maiman）（1960） 　・5月16日世界初のレーザ発振He-Neレーザ λ=1,150nm（A.Javan）（1960）Ndガラスレーザ（E.Snitzer）（1961）Qスイッチパルス発生技術（1962）GaAs半導体レーザ（1962）CO2レーザ（C. Patel）（1964）ファイバーレーザ増幅器（E.Snitzer）（1964）モードロック技術（1964）高出力ガスダイナミックレーザ（E.Gerry（米））（1970）HF化学レーザ（Hydrogen Fluoride Chemical Laser）（Kompa and Pimentel, Deutsch）（1967）国内加⼯技術開発海外レーザ穴あけ：ダイヤモンドダイスの穴あけ　（最初の加工技術適用例）（1965）国内加工用レーザ開発海外国内ルビーレーザ製品化（東京芝浦電気（現 東芝））（1968）174研究開発と助成の変遷