天田財団30年史「人を育て、知を拓き、未来を創る ～天田財団30年の軌跡～」

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1960年～1970年～電卓ファイバー式胃カメラポケベルパソコン（Apple）CDウォークマンカテーテルレーザ加工RIE（反応性イオンエッチング）粉末成形自己組織化LIGA異方性エッチングエキスパンダー加工超精密切削加工SEM(走査電子顕微鏡）FE-SEM（電界放出形走査電子顕微鏡）ESCA（電子分光分析）ナノインデンテーションオージェ電子分光装置レーザラマン分光装置白色干渉計SPM（走査型プローブ顕微鏡）（化学気相成長法）など、微細加工の有力なツールとなる技術が開発された。また、微細結晶粒超塑性材料が1934年イギリスで見いだされ、1962年以降に活発な研究が行われ、現在では8,000%以上の伸びが可能となっている。マイクロ・ナノ加工技術に必須である計測技術は、1950年以前にTEM、EPMA、1960年以降にはSEM、ESCA、SPM、1980年以降にはAFM、STM、EBSDなどが実用化され、マイクロ・ナノ加工技術開発に大きく貢献した。3. 1970年代コンピュータの普及が進み、CD、ウォークマン、医療用精密機器がそれぞれ開発普及段階へと進み、精密部品へのさらなる要求が強まった。微細加工の素材に有利な微粉末の製造が活発化したほか、微細加工が可能なレーザ加工の適用が開始された。また、RIE（反応性イオンエッチング）が開発され、高精度な半導体の製造に貢献した。4. 1980年代1980年代初頭にドイツにおいてLIGAプロセスが開発された。X線によるディープリソグラフィおよび電鋳による精密金型が組み合わされた技術であり、高アスペクト比のマイクロ構造体製造が可能になった。また、ナノコンポジット、紫外線リソグラフィの技術も開発されている。金属ガラスは1980年代後半に開発され、安定した非晶質金属であり、過冷却状態で完全ニュートン粘性流動を示す特徴がある。光学ガラス分野においては、モールド成形用ガラ155